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離子風(fēng)機(jī)微電子工業(yè)的應(yīng)用
    離子風(fēng)機(jī)微電子工業(yè)的應(yīng)用
    離子風(fēng)機(jī)是依靠輸入的機(jī)械能，提高氣體壓力并排送氣體的機(jī)械，它是一種從動的流體機(jī)械。風(fēng)機(jī)分類可以按氣體流動的方向，分為離心式、軸流式、斜流式和橫流式等類型。風(fēng)機(jī)根據(jù)氣流進(jìn)入葉輪后的流動方向分為：軸流式風(fēng)機(jī)、離心式風(fēng)機(jī)和斜流（混流）式風(fēng)機(jī)。風(fēng)機(jī)按用途分為壓入式局部風(fēng)機(jī)（以下簡稱壓入式風(fēng)機(jī)）和隔爆電動機(jī)置于流道外或在流道內(nèi)，隔爆電動機(jī)置于防爆密封腔的抽出式局部風(fēng)機(jī)你所說的都是離心風(fēng)機(jī)。
    離子風(fēng)機(jī)可產(chǎn)生大量的帶有正負(fù)電荷的氣流，中和掉物體上所帶的電荷。當(dāng)物體表面所帶電荷為負(fù)電荷時，它會吸收氣流中的正電荷，當(dāng)物體表面所帶電荷為正電荷時，它會吸收氣流中的負(fù)電荷，從而使物體表面上的靜電被中和，達(dá)到消除靜電的目的。
    離子風(fēng)機(jī)在微電子工業(yè)生產(chǎn)中有著廣泛的應(yīng)用，用于大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路潔凈車間，避免人體在車間內(nèi)移動產(chǎn)生靜電。計算機(jī)、通信及電子設(shè)備制造業(yè)：用于電子設(shè)備生產(chǎn)車間地面、程控電話交換 機(jī)房、移動通信機(jī)房、廣播電視發(fā)射中心、電力控制調(diào)度中心、交通運(yùn)輸調(diào)度中 心、電腦機(jī)房、微波通訊站機(jī)房等，控制靜電放電對計算機(jī)通信、各類電子設(shè)備及對靜電敏感器件危害，防止計算機(jī)內(nèi)存及電子儀器內(nèi)部的損壞。

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